精密和超精密加工時現代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個***高科技制造業水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得極高的尺寸、形位精度，而且要求獲得極高的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術了迅速的發展，各種工藝、新方法不斷涌現。